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正航仪器整理真空技术基本方程

来源:正航仪器 时间:2015-08-07 09:21 点击:
正航仪器整理真空技术基本方程
真空系统最重要的性能参数是其所能获得的极限真空度和对容器的有效抽速。
所说的真空系统的极限真空度是指在没有外加负荷的情况下,经过足够长时间的抽气后,系统所能达到的压力。
真空系统对容器的有效抽速是指在容器出口处的压力下,单位时间内真空系统能够从被抽容器中所抽除的气体体积。真空系统对容器的有效抽速不仅取决于真空泵的抽速,也取决于真空系统管路对气体的导通性能,即所说的流导。流导的定义是:在单位压差下,流经管路的气流量的大小。用一个数学式子来表示,即是式(1)
如果用Se来表示真空系统对容器的有效抽速,用Sp表示真空泵的抽速,C表示真空容器出口到真空泵入口之间管路的流导,则有式(2),(2a)、(2b)、和(2c)
方程(2),(2a)、(2b)、和(2c)本质上是一个方程,只不过写法不同,这个方程在真空系统设计中是一个非常重要的方程,如果知道泵的抽速Sp和管路的流导C,就可以计算出系统对容器有效抽速,这个方程被称为真空技术基本方程。
从方程(2b)可以看出:如果管路的流导C远大于泵的抽速Sp,则Sp/C的值远小于1,此时真空系统对容器的有效抽速Se≈Sp。这就是说为了充分发挥泵对容器的抽气作用,在设计真空系统管路时,应使管路的流导尽可能大一些。因此真空管路应该粗而短,切不可细而长。这是设计连接管道时的一条重要原则。相反,如果管路的流导C远小于泵的抽速Sp,则C/Sp的值远小于1,从方程(2c)可以看出,此时真空系统对容器的有效抽速Se≈C,这就是说,在这种情况下,选择多大的泵都没有用,都不能提高泵对容器的有效抽速。
从方程(2b)可以看出:如果管路的流导C远大于泵的抽速Sp 

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